Abluftreinigung einer Waschanlage
Anwendungsbereich
Während der nasschemischen Reinigung von Silizium-Wafern entstehen nitrose Gase. Um die gesetzlichen Grenzwerte sicher zu unterschreiten, wird der Abluftstrom in einer nachgeschalteten Abluftreinigungsanlage behandelt. Eine der zentralen Behandlungsstufen sind Abgaswäscher. Waschflüssigkeit wird über eine Pumpstation im Kreislauf gefördert und in der Waschanlage fein versprüht, um Luftschadstoffe an die Flüssigkeit zu binden.
Die mit Schadstoffen beladene Waschflüssigkeit wird periodisch durch Frischwasser ersetzt. Der Füllstand der Waschflüssigkeit wird kontinuierlich überwacht und während des Prozesses konstant gehalten. Die Füllstandmessung muss unabhängig vom Mischungsverhältnis der Waschflüssigkeit und von der Dampf- und Kondensatbildung im Behälter sichere Messwerte liefern.
Empfohlene Produkte
VEGAFLEX 83
Die Lösung
Der PFA-beschichtete TDR-Füllstandsensor VEGAFLEX 83 ist ideal für den Einsatz in aggressiven Medien. Der Sensor ist mit einem Flansch an einem der Anschlüsse des Vorlagetanks der Waschflüssigkeit eingebaut. Eine Steuerung wertet das Signal des Sensors aus und ermöglicht die genaue Nachspeisung von Frischwasser.
Der Anwendernutzen
- Sicherer Betrieb der Waschanlage durch zuverlässige Messdaten
- Beständiger und dadurch langlebiger Sensor
- Wartungsfreier und damit wirtschaftlicher Betrieb der Anlage
- Optimale Anpassung an den Prozess
Messbereich - Distanz
32 m
Prozesstemperatur
-40 ... 150 °C
Prozessdruck
-1 ... 16 bar
