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Abluftreinigung einer Waschanlage


Anwendungsbereich

Während der nasschemischen Reinigung von Silizium-Wafern entstehen nitrose Gase. Um die gesetzlichen Grenzwerte sicher zu unterschreiten, wird der Abluftstrom in einer nachgeschalteten Abluftreinigungsanlage behandelt. Eine der zentralen Behandlungsstufen sind Abgaswäscher. Waschflüssigkeit wird über eine Pumpstation im Kreislauf gefördert und in der Waschanlage fein versprüht, um Luftschadstoffe an die Flüssigkeit zu binden. Die mit Schadstoffen beladene Waschflüssigkeit wird periodisch durch Frischwasser ersetzt. Der Füllstand der Waschflüssigkeit wird kontinuierlich überwacht und während des Prozesses konstant gehalten. Die Füllstandmessung muss unabhängig vom Mischungsverhältnis der Waschflüssigkeit und von der Dampf- und Kondensatbildung im Behälter sichere Messwerte liefern.


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