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Depuración de gases de escape en un sistema de lavado

Área de aplicación

Durante el lavado de las obleas de silicio con agentes químicos húmedos se originan gases nitrosos. Para no superar los límites reglamentarios, los gases de escape reciben un tratamiento en un sistema de lavado. Una de las principales fases del tratamiento son los lavadores de gases. El líquido de lavado se introduce en el circuito mediante una estación de bombeo y se pulveriza como una niebla fina en el sistema de lavado para unir las sustancias contaminantes del aire al líquido. El líquido de lavado, cargado con sustancias nocivas, se sustituye regularmente por agua fresca. El nivel del líquido de lavado se monitoriza continuamente y se mantiene constante durante el proceso. La medición de nivel debe entregar unos valores de medición fiables independientemente de la proporción de la mezcla del líquido de lavado y de la formación de vapor y condensación dentro del depósito.


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