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Système d’épuration des gaz sur les dispositifs de lavage


Domaine d'application

Lors d’un nettoyage chimique humide aux pastilles de silicium, on assiste à un dégagement de vapeurs nitreuses. Pour s’assurer que les taux limites légaux ne sont pas dépassés, le flux de gaz est traité en aval au moyen d’un système d’épuration. Une des étapes essentielles du traitement se fait par la purification des gaz nocifs. Le liquide de lavage est amené dans un circuit fermé au moyen d’une station de pompage et il est finement vaporisé dans le dispositif de lavage, afin que les substances polluantes pour l’air soient fixées au fluide. Le liquide chargé en substances polluantes est régulièrement remplacé par de l’eau pure. Le niveau du liquide de lavage est constamment surveillé et maintenu tout au long du processus. L’appareil de mesure du niveau doit fournir des valeurs exactes, indépendamment du taux de mélange du liquide de lavage et de la formation de vapeur ou de condensation dans le réservoir.


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